电子行业洁净保障，冷镜式露点仪守护半导体生产环境

更新时间：2025-09-01 点击次数：85次

电子行业的半导体芯片、液晶面板生产，对洁净车间的湿度（露点）要求极-高 —— 低露点环境可防止芯片受潮氧化，避免电路短路。冷镜式露点仪凭借超高精度与实时监测能力，成为电子行业守护生产环境的 “洁净保障"。

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在半导体晶圆制造的光刻环节，洁净室露点需控制在 - 70℃Td 以下（极-高洁净度等级），仪器采用超高精度制冷系统（控温精度 ±0.05℃），搭配激光凝露检测技术，可精准捕捉极低露点下的微量水分，测量范围覆盖 - 80~+5℃Td，分辨率达 0.001℃Td，满足 SEMI F21-0706《半导体制造环境湿度测量指南》要求。针对液晶面板生产的无尘车间，仪器支持多点组网监测（最多可连接 32 个检测点），实时监控不同生产区域的露点差异，避免因局部湿度偏高导致的面板不良率上升。

仪器外壳采用防静电材质，符合电子行业 ESD 防护要求，可避免静电干扰芯片生产。数据支持与电子厂 MES 系统联动，当露点超出阈值时，立即触发车间新风系统调整，响应时间≤10s，确保洁净室露点稳定。应用后，半导体芯片的不良率可降低至 0.1% 以下，为电子企业减少巨额损失。

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